400-6719-177
- 傳真:0533-7321911
- 郵箱:4744374@qq.com
- 辦公地址:
山東省淄博市臨淄區辛化路2158號
中国氯化氫技术的领导者
北京华宇同方化工科技开发有限公司是1999年注册于北京中关村高科技园区的高新科技企业,其目的是推广应用本公司发明的十余项国内外授权专利。目前推广的主要新产品有,高
纯氯化氫和沸石催化剂;主要新技术有催化精馏技术和芳烃烷基化工艺。本公司生产的沸石催化剂是种录色环保产品,达到国际先进水平,已成功的应用于国内大型石化企业,具有显著的
经济效益和社会效益。本公司生产的高纯氯化氫的性能指标与国外同类产品相当,填补了我国电子级氯化氫产品生产的空白,目前已广泛应用于集成电路芯片制造业、硬质合金制造业、医
藥化工制造業,並批量遠銷于韓國及東南亞一帶。本公司的特點是産品質量高,價格低,售後服務好。
本公司具有较强的技术开发力量,现有教授4人,高级工程师5人,其他工程技术人员10人。建有设备完善的中心实验室,高纯氯化氫生产基地,沸石催化剂生产基地。分别负责技术
开发、氯化氫和催化剂的生产。根据市场需求,氯化氫设备的现有生产能力为100吨/年。
5N电子级氯化氫产品的纯度高达99.999%,总杂质含量小于5ppm,符合企业标准Q/HDHYF001-2003。它是单晶硅片气相抛光、基座腐蚀和硬质合金镀膜工艺的重要辅助材料。尤其其中水
及有机物的含量对单晶硅片的精密加工和芯片的寿命具有极大影响。本公司生产的5N电子级氯化氫产品的露点小于-80℃,水含量小于0.5ppm。有机物为轻烃类,THC<0.5ppm,且不含一氧
化碳、二氧化碳等有害雜質。就此而言,本公司的産品遠優于國外同類産品的性能,尤其優于國內分裝産品。
本公司生产电子级氯化氫所采用的原料为石化产品的副产品,其特点是水含量很低,便于提纯加工,对所需设备的材质要求不高。但其中含有难以脱除的乙炔气,这就需要特种性能
的催化剂。本公司在催化剂及催化技术开发方面具有独特的技术。经5年的努力,开发出适用的催化剂,它可使氯化氫中1000ppm的乙炔经反应下降至0.1ppm以下。从而保证了氯化氫中的THC
<0.4ppm。另外,本公司氯化氫的生产工艺采用了高效填料及特殊结构的精馏塔,并采用了具有特色的钢瓶处理方法,保证了瓶装产品的水含量小于0.5ppm。使得本公司产品的质量大大优
于国外同类产品的质量。同时,本公司获得了"一种制备电子级氯化氫的方法"的授权专利,具有自主知识产权。瓶装产品经国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检测中心
抽樣檢驗,純度大于99.999%,雜質總含量小于5ppm。2003年10月通過北京市科委科技成果技術鑒定。會議認爲,本工藝采用特效催化反應、高效精餾和特種裝置設備等技術研制出電子級氯
化氫産品。技術路線科學、合理、先進,工藝參數穩定;原料來源充足,供應可靠,生産線裝置運行連續穩定,符合環保要求;産品主要技術指標具有可靠的檢測手段;産品主要性能指標
与国外同类产品相当,填补了我国电子级氯化氫产品生产的空白,实现了电子级氯化氫产品的国产化。这对我国新兴电子产业制造业及其相关行业的发展具有较大的社会意义和经济意义。
兩年多來,經國內外多家用戶在單晶矽片氣相抛光、基座腐蝕和硬質合金鍍膜工藝中使用證明,本公司産品的技術性能及其産品的規格性能均與國外産品相當。
近几年,本公司在降低水含量方面采取了一系列措施。经分析发现,精馏塔采出产品的水含量小于0.3ppm,但罐装于钢瓶内的产品水含量则可达0.7ppm,甚至更高。究其原因在于产
品罐裝過程中鋼瓶更換以及鋼瓶處理時引入的空氣水。這種水附著在管壁上,難以用抽空的方法徹底排除。爲此,首先采用了本公司發明的專利截止閥,保證更換鋼瓶時彙流排及其連接軟
管不與大氣相通;其次在鋼瓶選用、瓶閥結構及鋼瓶處理上采取了嚴格而特殊的措施,盡可能降低鋼瓶殘留水的影響,保證了瓶裝産品的水含量小于0.5ppm。
目前,国内应用的5N电子级氯化氫产品主要由美国道化学公司提供,经由国内外几家气体经销商分装后供应市场,主要性能指标如下:
純度:99.999%;
雜質含量:N2≤2.0ppm,O2≤1.0ppm,H2O≤1.0ppm,CO≤1.0ppm,
CO2≤2.0ppm,THC≤1.0ppm。
目前,本公司批量供应市场的氯化氫产品有如下四种:
(1) 5.0 N,纯度>99.999%; (2) 4.8 N,纯度>99.998%;
(3) 3.0 N,纯度>99.9%; (4) 2.8N,纯度>99.8%。
本公司氯化氫产品采用氯化氫专用钢瓶(符合国标GB5099或DOT 3AA标准)包装,有25kg、27kg两种规格,应用316L不锈钢抗腐蚀隔膜式瓶阀,CGA330标准接口。
本公司尚可为客户提供各种型号规格的氯化氫专用减压器、调节阀、截止阀以及成套氯化氫供气装置。
2001年全公司各产品通过ISO9001:2000质量管理体系认证,保证了产品质量的连续稳定和持续改进。
本公司秉承"诚信为本、顾客至上"的经营理念,坚持"科学经营、安全经营、合法经营"的经营方针,以科技领先和强化管理为手段,锻造技术一流、人才一流、质量一流、服务一流
的科技開發公司。