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电子级氯化氫的制备与分析各方法
盐酸脱析法是将浓盐酸置于脱析塔钟加热脱析制备氯化氫气体,在七十年代末期發展出來的。然後,經過一系列的常溫、低溫幹燥、吸附除水以及二氧化碳,壓縮至1.2Mpa,進行低溫精餾,再經過低溫吸附除去氮後壓縮至4.2Mpa,然後再進行裝瓶。
发生法是在七十年代以前,电子工业用高纯度氯化氫的制备一直是将浓硫酸滴加到浓盐酸中,将其中的水吸收掉,使得过饱和的氯化氫气体析出。到了七十年代到八十年代初期,制备方法发展到用浓硫酸与焙烘干的食盐反应,生成高纯度的氯化氫气体,再用压缩机压入钢瓶中。
合成法用氯和氢在合成炉中进行燃烧反应生成氯化氫气体是八十年代初爲適應我國電子工業的迅速發展而提出的,在技術上較爲先進,由合成爐出來的氯化氫气体经常温、低温干燥和吸附净化,在低温、低压下冷凝,排除不凝气体杂质,以液态装瓶。氯、氢合成中,氢过量5%左右,氯化氫气体中含氢高,以间歇精馏装置除氢。此外,原料氢是经钯膜扩散提纯,生产规模受到一定限制。
发生法以及脱析法生产规模较大。
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